在材料科学与工业检测领域,传统显微镜受限于光学原理,景深通常仅为微米级,面对凹凸不平的样品时,需反复调焦才能捕捉局部细节。超景深金相显微镜的景深扩展能力可达传统设备的20倍以上,并有3D建模与AI分析技术。
景深差异
1. 传统显微镜仅能在固定焦平面上呈现清晰画面。当观察金属表面裂纹、半导体芯片三维结构等复杂样品时,凹凸起伏会导致部分区域模糊。
2. 超景深金相显微镜采用数字显微镜技术,通过高精度传感器沿Z轴连续扫描,获取不同焦平面的图像序列,再利用光学相位调制与深度合成算法,将这些图像中的清晰部分精准融合,最终生成全域清晰的三维图像。
例:在12英寸晶圆检测中,传统设备需多次调焦才能识别0.3μm级的颗粒污染,而超景深技术可单次扫描完成全表面成像,检测效率提升3倍。
3D建模
传统设备仅能提供平面投影,而超景深技术通过多角度成像与景深扩展,可重构样品表面形貌。
AI智能分析
传统检测依赖人工判断,而超景深设备通过AI算法自动识别样品特征。
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