工业视觉光源是用于机器视觉系统中的光源设备，旨在为视觉检测提供稳定、均匀和可控的光线，从而提高成像质量和检测精度。它并非简单“照亮物体”，而是通过明场、暗场、同轴、背光、线扫描等方式，把晶圆表面的颗粒、划伤、图形边界和胶层差异呈现出来。以晶圆检测案例看，光源往往要和镜头匹配，不同检测环节采用的镜头并不相同。
颗粒与划伤检测：暗场配显微物镜
在一则晶圆表面颗粒与划伤检测案例中，样品表面反光强、缺陷细微，系统采用暗场照明配合长工作距离显微物镜。暗场光让平整表面呈暗背景，颗粒和划伤产生散射光，显微物镜负责捕捉微米级细节。若用普通定焦镜头，细节分辨不足；若工作距离过短，又容易与晶圆表面干涉。
对准与尺寸测量：双远心配同轴光或背光
在晶圆对准和关键尺寸测量案例中，常见方案是双远心镜头配合同轴光或背光。远心镜头能降低物方距离变化带来的放大倍率误差，适合测量图形位置、孔径和边缘。背光可突出轮廓，同轴光则用于识别表面标记。此类案例更关注几何一致性，而非单纯分辨率。
整片扫描：线扫描镜头配线光源
在整片晶圆表面扫描案例中，线扫描镜头使用较多。它配合线光源逐行成像，适合大面积均匀扫描，能兼顾幅宽和效率。线光源的均匀性直接影响扫描图像的一致性，镜头则需与线扫描相机匹配。
特殊响应检测：紫外镜头配紫外光源
在光刻胶、荧光或紫外响应检测案例中，会采用紫外专用镜头和紫外光源。此类方案利用材料在特定波段的响应差异，观察普通可见光下不明显的特征。镜头需在该波段具备良好透过率和成像质量。
大视野外观检查：定焦镜头配环形光或条形光
部分晶圆外观检测案例也会采用大靶面高分辨率定焦镜头，配合环形光或条形光，用于较大视野下的崩边、污染和封装区域检查。其优势是视野灵活、系统集成相对简单，但在微细缺陷场景中通常让位于显微物镜或远心镜头。
技术方案
MORE+您可能也对以下信息感兴趣
咨询POMEAS 
价格垂询 
申请演示/测试 
免费试用 
精准选型 
电话:400-168-8336
传真:+ 86-0769-22660867
邮箱:marketing@pomeas.com
公司地址
生产中心：广东省东莞市东城区柏洲边社区涌尾路68号
营销中心：东莞市松山湖高新区中集智谷产业园15栋
苏州办事处：苏州市工业园区唯新路60号启迪时尚科技城40栋
微信二维码