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变倍导航观测方案在半导体行业应用
双远心镜头成像原理:通过在镜头中间放置光阑,使得进出镜头的光线均为平行光,其他光线被光阑遮挡,无法到达成像芯片,各看一侧分别是物方远心、像方远心镜头。物方解决景深问题,像方解决放大倍率变化问题。 双远心镜头可以解决的问题: 分辨率:普通工业镜头分辨率跟不上芯片分辨率提高的脚步,其受制于其光学成像的原理,最好的也只能做到10um左右,最多可配合1000W像素的相机使用,满足不了现在高分辨率相机和高精度测量检测的要求。 景深:普通镜头的景深比较小,当需要测量的物体在镜头纵深方向超出其范围,检测或测量无法进行。 放大倍率:放大倍率随作距离变化而发生变化。当我们的视觉系统被用来执行精密测量任务时,这一特性会导致不可容忍的误差。 双远心镜头通过在光学系统的中间位置放置孔径光阑,使主光线一定通过孔径中心点,则物体侧和成像侧的主光线一定平行于光轴进入镜头。入射平行光保证了足够大的景深范围,从镜头出来的平行光则保证了即使工作距离在景深范围内发生大幅度变化,成像的高度也就是放大倍率也不会发生变化。
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