14X 变倍镜头检测方案，以 14X 变倍镜头为核心，搭配高清工业相机、内置同轴光和外置环形光以及普密斯 MetX 多元传感测量系统，旨在为晶圆检测提供一套高分辨率、高灵活性且精准高效的解决方案。
晶圆表面缺陷检测
1. 划痕与裂纹检测：利用 14X 变倍镜头的高放大倍率和高清工业相机的高分辨率，能够清晰检测出晶圆表面微米甚至纳米级别的划痕和裂纹。内置同轴光和外置环形光的配合照明，使这些缺陷在图像中呈现出明显的特征，普密斯 MetX 多元传感测量系统通过算法分析，准确识别缺陷的长度、宽度、深度等信息，并判断其对晶圆性能的影响程度。
2. 颗粒污染物检测：晶圆表面的颗粒污染物，如尘埃、金属颗粒等，可能会影响晶圆的电学性能和成品率。环形光能够有效凸显颗粒的存在，系统通过对图像的处理和分析，精确计算颗粒的大小、数量和位置，及时发现污染源，采取相应的清洁和防护措施。
3. 表面凹凸不平检测：对于晶圆表面因工艺问题导致的微小凹凸不平，同轴光能够清晰反映其表面轮廓变化。系统通过对图像的三维重建和分析，量化表面的平整度偏差，确保晶圆表面符合生产工艺要求。
晶圆图案与结构检测
1. 光刻图案完整性检测：在晶圆制造的光刻工艺中，14X 变倍镜头可对光刻图案进行高倍放大观察，高清工业相机采集图像后，MetX 系统通过与标准图案进行对比，检测图案的完整性、线条宽度、间距等参数是否符合设计要求，及时发现光刻工艺中的偏差和缺陷，避免后续工艺的不良影响。
2. 芯片结构尺寸测量：利用变倍镜头的不同放大倍率，可对晶圆上芯片的各种结构尺寸进行精确测量，如晶体管尺寸、布线宽度等。MetX 系统通过先进的测量算法，实现亚微米级别的高精度测量，为芯片性能优化和质量控制提供关键数据。
晶圆边缘检测
边缘缺陷检测：晶圆边缘容易出现破损、缺口等缺陷，影响晶圆的后续加工和封装。通过调整 14X 变倍镜头和环形光的角度，可对晶圆边缘进行全面检测，MetX 系统准确识别边缘缺陷的类型和位置，防止不良晶圆进入下一生产环节。
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