3D白光干涉轮廓仪检测像孔案例

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2026/03/28

作者:adminBOSS

像孔检测的行业痛点:

 

 

在精密制造领域,像孔(如发动机气缸、喷油嘴、液压阀孔、半导体通孔等)的质量控制一直是检测难点。

 

1.深径比大:孔深可达直径的10倍以上,传统光学显微镜难以聚焦到底部

 

2.空间狭小:探头难以进入,接触式测量容易损伤内壁

 

3.精度要求高:孔内壁粗糙度、圆度、锥度直接影响产品性能

 

 

 

技术原理:

 

白光干涉轮廓仪基于低相干干涉原理工作:

 

设备发射的白光经分光镜分为两束——一束照射被测表面(测量光),另一束照射标准参考平面(参考光);两束光反射后重新叠加形成干涉条纹。

 

由于白光相干长度极短(仅几微米),只有在光程差为零的位置才会出现最清晰的干涉信号。通过沿Z轴逐点扫描,系统采集不同高度的干涉信号,经算法重构即可生成三维拓扑图,将孔内壁的微观形貌转化为可量化的数据。

 

 

 

解决方案:

 

 

采用普密斯3D白光干涉轮廓仪配合深孔测量附件,通过扫描干涉技术获取气缸内壁不同高度位置的三维形貌。

 

 

 

检测结果:

 

 

如需了解更多关于白光干涉轮廓仪在像孔检测领域的应用方案,欢迎访问普密斯官网 www.pomeas.cn 或拨打服务热线 13925702452

 

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