光谱共焦传感器是一种基于光学色散原理与共焦成像技术的高精度非接触式测量设备,能实现亚微米级分辨率、多材质兼容性及抗环境干扰能力,成为精密制造、半导体检测等领域的核心工具。
1. 白光色散:通过色散镜头将复合白光分解为不同波长的单色光,形成按波长空间分布的光谱。
2. 共焦聚焦:仅允许特定波长的光聚焦于被测表面,反射光沿原路返回,经针孔滤波后由光谱仪分析。
3. 波长-距离映射:被测物表面高度变化会导致返回光的波长偏移,通过光谱分析即可解算出精确距离值。
光谱共焦传感器SFS-D8080参数
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