工业远心镜头凭借低畸变、恒定放大倍率等特性,成为高精度测量、缺陷检测的核心器件,其光学参数直接决定成像质量与应用适配性。
远心度是精度核心,描述主光线与光轴平行度,分物方、像方、双侧远心,以角度或千分比计量。远心度差会引发视差误差,如物体轻微位移导致倍率偏移,高精度测量(如半导体引脚检测)需远心度 < 0.1°,粗略检测可放宽至 0.5°。
放大倍率决定视场与细节清晰度,与视场成反比(FOV = 传感器尺寸 / 倍率)。倍率过大则视场小,大尺寸物体需多次拼接;过小则细节分辨率不足,微小缺陷易漏检。同时,倍率精度(如标称 1X 误差 < 0.1%)与均匀性(中心边缘倍率差 < 0.05%)直接影响测量误差,避免边缘尺寸失真。
畸变率反映形状偏差,远心镜头通常 < 0.1%(高精度 < 0.05%),远低于普通镜头。畸变会导致形状失真,如正方形测为梯形,半导体晶圆检测需畸变率 < 0.05%,粗略外形检测可放宽至 0.1%。
分辨率以 MTF 衡量,决定细节还原能力,如检测 50μm PCB 线路需 20lp/mm 处 MTF>0.5,且需匹配传感器像素尺寸避免采样不足。全视场 MTF 一致性差会导致边缘缺陷漏检。
数值孔径(NA)平衡亮度、分辨率与景深。NA 大则进光多、分辨率高,但景深小;检测带高度差物体需小 NA 保大景深,平面微小缺陷检测需大 NA 提分辨率。
此外,工作距离需适配物体尺寸与照明装置,光谱范围需匹配照明波长(如红外检测选近红外兼容镜头)。选型需紧扣核心需求,避免盲目追求高参数造成浪费。
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