光谱共焦传感器的测量精度依赖于 “波长 - 距离对应关系的准确性”（其核心原理是利用色差使不同波长光聚焦于不同距离，通过检测反射光波长反推距离），因此所有影响这一对应关系、或干扰波长检测的因素，都会直接影响测量精度。
一、光源特性：精度基准
光源是 “波长 - 距离” 校准曲线的基础。波长范围决定测量量程，量程外推算易引误差；波长分辨率（最小可分辨间隔）直接影响距离分辨率。同时，温度变化、光源老化导致的波长漂移，及电流波动引发的光强不稳定，会破坏校准曲线、降低信号信噪比（SNR），影响波长判断。
二、光学系统：传输关键
光学系统负责聚焦与传光。物镜数值孔径（NA）越大，聚焦光斑越小、反射光收集效率越高，能减少表面粗糙度干扰；球差、彗差等额外像差会破坏 “单波长单焦点” 关系，导致距离弥散；透镜组同轴度偏差、分光元件倾斜，会使实际聚焦位置与理论错位，引发误差。
三、分光与检测系统：信号解码核心
该系统决定波长读取精度。光栅刻线密度越高，分光分辨率越好，可区分的波长间隔越小；杂散光会干扰目标信号。检测器像素数量越多，波长空间采样精度越高；暗电流、读出噪声会降低 SNR，导致弱信号识别困难。此外，高斯拟合等高精度算法能提升波长峰值定位精度，减少噪声干扰。
四、样品特性：被测对象限制
样品表面反射率过高易致信号饱和，过低则 SNR 低，均会模糊波长峰值；粗糙度大于聚焦光斑时，漫反射会展宽波长分布，甚至导致测量失效。材质对特定波长的选择性吸收，会破坏 “波长 - 距离” 对应；透明样品的表面与内部反射叠加，易引发距离误判。
五、环境干扰：外部扰动
温度波动会改变光学元件折射率与尺寸，导致焦距偏移；检测器暗电流随温度升高而增加，降低 SNR。传感器与样品的相对振动，会使瞬时聚焦位置偏移；外界强光与反射光叠加，会干扰波长峰值识别。
六、校准与安装：系统误差控制
出厂校准需依托标准量块，环境波动会导致校准曲线偏差；长期使用后未定期校准，误差会累积。传感器安装松动会引发随机误差；光轴与样品运动方向不平行，会产生累积误差；基准面不平整会将误差引入所有测量结果。
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